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膜厚成分分析檢測：測量透明膜厚度的方法
2025-01-02
1. 機(jī)械接觸法：這是一種較早被應(yīng)用的測量方法，通過測量薄膜與探頭之間的機(jī)械位移來確定厚度。常見儀器有螺旋測微儀和千分尺等，適用于對薄膜表面質(zhì)量要求不高的場合。但需注意，此方法可能損壞薄膜表面，影響測量精度。
2. 光學(xué)法：基于光的干涉、反射、折射等原理，通過測量光的參數(shù)來推算厚度。包括干涉法和橢圓偏振法等，具有高精度、非接觸、快速測量等優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)薄膜、半導(dǎo)體薄膜等領(lǐng)域。
3. 電子顯微法：利用電子顯微鏡觀察薄膜截面來確定厚度，具有高分辨率、直觀性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。但設(shè)備和技術(shù)支持復(fù)雜，且對樣品制備要求較高，實(shí)際應(yīng)用受限。
4. 射線法：利用射線在薄膜中傳播時(shí)的衰減或衍射現(xiàn)象來確定厚度，適用于各種材料，特別適合于測量較厚的薄膜。但需注意設(shè)備和防護(hù)措施，以及可能的輻射污染。
5. 光譜法：基于物質(zhì)對光的吸收、發(fā)射或散射特性來測量厚度，適用于透明或半透明薄膜。具有非接觸、快速測量等優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于各種材料的厚度測量。
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